■ 진행 : 박상연 앵커
■ 출연 : 박재근 / 한국반도체디스플레이기술학회장
* 아래 텍스트는 실제 방송 내용과 차이가 있을 수 있으니 보다 정확한 내용은 방송으로 확인하시기 바랍니다.
일본 정부가 반도체 핵심 소재 3개 품목에 대한 수출 규제에 나선 지 약 두 달이 지났습니다. 삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소 일부를 국산품으로 대체한 것으로 확인되면서 일본 의존도가 높았던 핵심 소재에 대한 탈일본화가 속도를 내고 있는 모습입니다.
박재근 한국반도체디스플레이 기술학회장과 이야기 나눠보겠습니다. 회장님 나와계십니까?
[박재근]
안녕하십니까.
삼성전자가 반도체 공정에 사용되던 일본 고순도 불화수소 일부를 일본품으로 대체했다 이런 보도가 나오고 있습니다. 지금 이미 파악을 하고 계신 거죠?
[박재근]
네.
이게 고순도 불화수소 국산화에 성공했다고 볼 수 있을까요?
[박재근]
이번 발표는 반도체 공정 한 50에서 70% 공정에 불화수소를 사용합니다. 그 사용하는 공정의 일부를 테스트해 봐서 좋은 결과가 나온 것 같습니다. 모든 공정은 다 테스트가 진행되지 않은 것으로 알려지고 있고요. 그렇다 하더라도 거의 국산화의 가능성이 높은 것으로 추측되고 있습니다.
저순도 불화수소를 사용하는 디스플레이 업계의 경우에는 공정에 이미 국산 불화수소를 사용하고 있다고 알려져 있는데 맞습니까?
[박재근]
언론에 의하면 LG디스플레이에서 국산 액체 불화수소를 평가를 해서 문제가 없어서 사용할 수 있다고 발표를 했는데요. 디스플레이 같은 경우는 디스플레이를 만드는 제조 공정 자체가 2주 이내로 반도체의 2개월 이상 기간이 짧습니다. 그래서 평가결과가 먼저 나왔고. 그래서 아마 디스플레이 업체들이 사용할 수 있다고 말씀을 하는 것 같습니다.
이 국내산 고순도 불화수소의 품질은 어느 정도로 예상하시나요?
[박재근]
기본적으로 반도체나 디스플레이에 사용하는 액체불화수소는 순도가 99.999% 이상이 되어야 합니다. 일본 업체의 경우는 99.999%보다 순도가 조금 더 높은 것으로 알려져 있는데요. 디스플레이에서 이미 평가를 했고 또 삼성전자든 SK하이닉스에서 반도체 공정에서 지금 평가를 하고 있어서 아마 1개월이나 1개월 반 뒤면 최종 모든 공정에 대한 평가가 끝나게 될 테고 문제가 없다고 하... (중략)
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